标准气有很多种不同的种类,大家在选择的时候要按照自己的需求进行选择,下面我们就来了解一下电子工业用混合气体吧:
电子工业用混合气是指在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺(工序)的一类特殊电子混合气。主要有外延(生长)混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。
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标准气在很多的领域中都有非常广泛的使用,那么下面就由小编来给大家介绍一下电子工业用混合气体都有哪些种类吧:
电子工业用混合气体又分为外延(生长)混合气、化学气相沉淀(CVD)混合气、掺杂混合气、刻蚀混合气、其他电子混合气。
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标准气有非常广泛的应用,其中一种是氦氧混合气,那么这种混合气体都可以应用在哪些领域呢?下面我们就一起来了解一下吧:
实验科研:氦氧混合气也常常用于实验科研领域,如气体色谱仪中的离子源。氦气具有非常好的分离能力,可以用于分析样品中的不同元素成分。
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