高纯氩气无色无味无毒气体。化学性质很不活泼,未形成任何化合物。今天来带大家简单了解一下高纯氩气的特点及用途。
高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气也可作为色谱载气。
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高纯氩气的特性
高纯氩气是一种无色、无味、无毒的惰性气体,化学性质很稳定,几乎不与其他物质发生化学反应,这使得它在许多需要隔绝活性物质的场景中表现出色。在标准状况下,高纯氩气密度比空气略大,便于在特定空间中沉降覆盖。
高纯氩气的沸点为 - 185.7℃,很容易通过低温手段使其液化,液态氩气常被用于需要低温环境的科研和工业流程。因其高纯的特性,杂质含量很低,能满足对气体纯净度要求严苛的应用,在现代工业和科研中发挥着重要的作用。
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高纯氩气的纯度等级是如何划分的?
高纯氩气的纯度等级通常依据标准或行业标准来划分。常见的等级有99.99%(4N)、99.999%(5N)、99.9999%(6N)等。
纯度为99.99%的高纯氩气,杂质含量相对较高,适用于一些对纯度要求不是极其苛刻的工业领域,如普通金属焊接。
99.999%纯度的高纯氩气,杂质含量进一步降低,可用于对杂质较为敏感的领域,如电子工业中的部分工艺。
而99.9999%纯度的高纯氩气,杂质含量极低,主要应用于对气体纯度要求极高的场合,如半导体芯片制造等领域,以避免杂质对产品质量产生影响。
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