超纯氩气无色无味无毒气体。化学性质很不活泼，未形成任何化合物。今天来带大家简单了解一下超纯氩气的特点及用途。
超纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。超纯氩气也可作为色谱载气。
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超纯氩气是稀有气体，用作不锈钢，镁，铝和其他合金的电弧焊（切割）的保护气体。 超纯氩气还用于照明技能和填充日光灯，光电管，照明管等。贮存时应该留意哪些问题？
超纯氩气应存放在通风良好的仓库中，远离火源和热源； 气瓶应有防摔办法。 大于10立方米的低温液体储罐不能放置在室内。 瓶装气体产品中充满高压气体，运用前应进行减压和减压。 包装好的气瓶具有运用寿命，必须将所有过期的气瓶送到部门进行安全检查，然后才干持续运用。
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如何检测超纯氩气纯度？
检测超纯氩气纯度有多种方法。
气相色谱法较为常用，利用不同气体在固定相和流动相中的分配系数差异，使氩气及杂质分离，通过色谱峰面积或高度定量分析，精度可达 ppm 级，广泛应用于工业生产检测。
质谱分析法精度更高，将氩气离子化后，依据质荷比分离检测，能准确识别各类杂质，常用于科研、电子芯片制造等对纯度要求苛刻领域。
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